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鐘罩爐所提供的燒結(jié)窯爐的主要特性是高效率,其智能控制系統(tǒng)和其他設(shè)備構(gòu)成了一個(gè)完整的功能單元,可充分滿足鐵氧體行業(yè)近乎藝術(shù)級的要求。可以根據(jù)需要編寫和儲存任何的溫度/氣氛曲線,來生產(chǎn)高質(zhì)量的產(chǎn)品。除此以外還可以根據(jù)實(shí)際需要及時(shí)生產(chǎn)任何其他產(chǎn)品,從而縮短交貨期和降低成本。在燒結(jié)時(shí)僅僅需要少數(shù)操作人員,裝載和卸載可以在白天完成,而燒結(jié)可以在夜間完成,實(shí)現(xiàn)電力調(diào)峰,在當(dāng)今電力緊張情況下,十分實(shí)用。
目前設(shè)備可用于砷化鎵、硅以及其他半導(dǎo)體材料,離子注入后的退火、硅化物的形成、歐姆接觸制備以及快速氧化、快速氮化等方面。鐘罩爐主要由真空腔室、加熱室、進(jìn)氣系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、溫度控制系統(tǒng)、氣冷系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)等幾部分組成的,下面咱們來了解下各組成部分的作用:
1.真空腔室:真空腔室是其工作空間,晶圓在這里進(jìn)行快速熱處理。
2.加熱室:加熱室以多個(gè)紅外燈管為加熱元件,以耐高溫合金為框架、高純石英為主體。
3.進(jìn)氣系統(tǒng):真空腔室尾部有進(jìn)氣孔,控制的進(jìn)氣量用來滿足一些特殊工藝的氣體需求。
4.真空系統(tǒng):在真空泵和真空腔室之間裝有高真空電磁閥,可以有效確保腔室真空度,同時(shí)避免氣體倒灌污染腔室內(nèi)的被處理工件。
5.溫度控制系統(tǒng):溫度控制系統(tǒng)由溫度傳感器、溫度控制器、電力調(diào)整器、可編程控制器、PC及各種傳感器等組成。
6.氣冷系統(tǒng):真空腔室的冷卻是通過進(jìn)氣系統(tǒng)向腔室內(nèi)充入惰性氣體,來加速冷卻被熱處理的工件,滿足工藝使用要求。
7.水冷系統(tǒng):主要包括真空腔室、加熱室、各部位密封圈的冷卻用水。
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