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推板爐專門設(shè)計(jì)用于雙溫區(qū)CVD工藝也可用于其它高溫材料的熱處理工藝,兩個(gè)溫區(qū)獨(dú)立控制,溫區(qū)可單獨(dú)使用,也可提供較大梯度差的溫場。硅鉬棒、硅碳棒,硅碳棒,電阻絲組合加熱,在同一腔體內(nèi)實(shí)現(xiàn)不同的溫度差,是CVD工藝的專用理想設(shè)備。
今天小編要與大家分享的是推板爐所具備的技術(shù)優(yōu)勢:
1、使用安全性
(1)超溫保護(hù)功能,當(dāng)溫度超過允許設(shè)定值后,自動(dòng)斷電及報(bào)警。
(2)漏電保護(hù)功能,當(dāng)爐體漏電時(shí)自動(dòng)斷電。以上功能確保了使用的安全性。
2、操作便捷性
?。?)氣路連接方式采用了快速連接法蘭結(jié)構(gòu)。
?。?)使取放物料過程簡化,只需一支卡箍便可完成氣路連接,方便操作。
?。?)取消了復(fù)雜的法蘭安裝過程,減少了爐管因安裝造成損壞的可能。
3、結(jié)構(gòu)實(shí)用性
?。?)爐膛材料采用多晶莫來纖維真空吸附制成,節(jié)能50%,溫場均勻。電熱元件采用表面溫度1500度的優(yōu)質(zhì)硅碳棒及表面溫度1700度的硅鉬棒。
?。?)密封法蘭采用雙環(huán)密封技術(shù),有效的提高了爐管兩端的氣密性。氣路具有進(jìn)出氣微量可調(diào)功能。
?。?)兩端氣路支架,支撐著氣路裝置。有效消除了氣路總成自身的應(yīng)力,杜絕了因自身應(yīng)力而造成的爐管損壞。
(4)采用空氣隔熱技術(shù),結(jié)合熱感應(yīng)技術(shù),當(dāng)爐體表面溫升到達(dá)50℃時(shí),排溫風(fēng)扇將自動(dòng)啟動(dòng),使?fàn)t體表面快速降溫。
4、控制智能化
?。?)電爐溫度控制系統(tǒng)采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù),具有PID調(diào)節(jié)、模糊控制、自整定功能,并可編制各種升降溫程序。
?。?)國產(chǎn)程序控溫系統(tǒng)可編輯50段程序控溫,進(jìn)口程序控溫系統(tǒng)可編程40段程序控溫。
(3)爐內(nèi)配置有485轉(zhuǎn)換接口,可實(shí)現(xiàn)與計(jì)算機(jī)相互連接。完成與單臺(tái)或多達(dá)200臺(tái)電爐的遠(yuǎn)程控制、實(shí)時(shí)追蹤、歷史記錄、輸出報(bào)表等功能。
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