鐘罩爐主要用于半導(dǎo)體元器件及電力整流器件的燒結(jié)工藝,可進(jìn)行真空燒結(jié),氣體保護(hù)燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié)。是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中一種新穎的工藝裝備,它設(shè)計(jì)構(gòu)思新穎,操作方便,結(jié)構(gòu)緊湊,在一臺(tái)設(shè)備上可完成多個(gè)工藝流程。也可用于其他領(lǐng)域內(nèi)的真空熱處理,真空釬焊等工藝。
今天小編要與大家分享的是鐘罩爐使用前校準(zhǔn)方法:
1、校準(zhǔn)點(diǎn)的位置:對(duì)于容積大于0.15m3的設(shè)備,應(yīng)布3個(gè)校準(zhǔn)點(diǎn)。分別位于測(cè)溫區(qū)中心點(diǎn)(控溫偶位置點(diǎn))及中心點(diǎn)前和后各(5~10)cm的相應(yīng)位置。
2、校準(zhǔn)溫度點(diǎn)的選擇:校準(zhǔn)點(diǎn)一般應(yīng)選擇上限溫度點(diǎn)或下限溫度點(diǎn)進(jìn)行,也可根據(jù)需要選擇常用溫度點(diǎn)。對(duì)于容積小于0.15m3的井式或管式設(shè)備,應(yīng)布1個(gè)校準(zhǔn)點(diǎn)。位于測(cè)溫區(qū)中心點(diǎn)(控溫偶位置點(diǎn))。根據(jù)工作區(qū)域大小和形狀,將傳感器按規(guī)定數(shù)量與位置布放在工作區(qū)域內(nèi)。
3、校準(zhǔn)步驟:該設(shè)備一般處于空載(空爐)條件下,特殊要求時(shí)可以負(fù)載校準(zhǔn)(半載或滿載)。在負(fù)載情況下校準(zhǔn)時(shí),熱電偶測(cè)量端應(yīng)盡可能和工件接近。爐料的材質(zhì)、形狀、大小、布置方式、測(cè)量點(diǎn)的位置和要求達(dá)到指標(biāo)等根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行校準(zhǔn)。校準(zhǔn)時(shí)使用常用的升溫速度升溫檢測(cè),不可降溫檢測(cè),具有風(fēng)機(jī)的設(shè)備,在校準(zhǔn)期間風(fēng)機(jī)應(yīng)該正常運(yùn)轉(zhuǎn)。升溫后,應(yīng)密切注視檢測(cè)熱電偶在檢測(cè)儀表上的顯示值。當(dāng)溫度達(dá)到設(shè)定溫度,并穩(wěn)定30min后,確定電阻爐已達(dá)到熱穩(wěn)定狀態(tài),開始進(jìn)行溫度參數(shù)校準(zhǔn)。在30min內(nèi),每隔3min測(cè)量各檢測(cè)點(diǎn)溫度1次,并記錄各點(diǎn)的溫度值,共測(cè)量10次,計(jì)算出爐溫均勻度、爐溫波動(dòng)度及爐溫準(zhǔn)確度。
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